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電子半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理設(shè)備

發(fā)布時(shí)間:2022/3/29 10:38:55 瀏覽次數(shù):

處理工藝:氮氧化物濃度較高的采用四級(jí)串聯(lián)高濃度酸霧凈化塔,添加氫氧化鈉、硫化鈉進(jìn)行洗滌處理;氮氧化物濃度較低的采用兩級(jí)串聯(lián)酸霧凈化塔,添加氫氧化鈉進(jìn)行洗滌處理。


主要特點(diǎn):凈化效率高,結(jié)構(gòu)緊湊,耐腐蝕,耐老化性能好,自動(dòng)化控制,操作簡(jiǎn)單,廣泛應(yīng)用于太陽(yáng)能、電子半導(dǎo)體等行業(yè)。


PECVD設(shè)備尾氣主要包含硅烷SiH及氨氣NH等。


處理工藝:不銹鋼燃燒筒一不銹鋼硅烷燃燒洗滌塔氨氣洗滌塔+離心風(fēng)機(jī)


主要特點(diǎn):硅烷去除率高, 氨氣及其他水溶性氣體凈化率高,占地面積小,耐腐蝕,便于維修。



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